2025년 5월 22일, 상하이 기술 교류회는 관련 기술 분야 전문가 5명과 업계 전문가 5명을 조직하여 과학 기술 성과 평가 표준 및 절차에 따라 현장 회의 형식으로 Shanghai Kangcai Refrigeration Equipment Co., Ltd.가 완료한 "냉각기 장치용 고정밀 온도 및 유량 제어 지능형 모니터링 시스템" 성과를 평가했습니다. -
기술 대화, 혁신 혁신
주제 보고서 회의에서 Kangcai 기술 팀은 '혁신-주도 및 지능적 역량 강화'에 중점을 두고 고정밀 온도 제어 장치 기술 성과의 핵심 가치를 체계적으로 제시했습니다.-
01 업계 페인포인트 돌파
반도체 제조 산업은 온도 제어의 정확성과 신뢰성에 대한 요구 사항이 점점 더 엄격해지고 있습니다. 특히 포토리소그래피 및 에칭과 같은 핵심 공정은 칩 품질과 생산 비용에 직접적인 영향을 미치는 ±0.1도의 온도 변동에 민감하기 때문입니다.
기존의 온도 제어 장비는 낮은 정밀도, 느린 응답, 높은 에너지 소비 등의 문제로 인해 반도체 제조의 고정밀 요구 사항을 충족할 수 없고 정밀한 제어 및 동적 최적화를 달성할 수 없습니다. 고급-온도 조절 장비는 수입에 의존하기 때문에 비용이 많이 들고 위험합니다. 따라서 국내 고정밀 온도 제어 장치의 교체는-업계의 핵심 요구 사항입니다.
02 자주혁신의 돌파구
적응형 퍼지 PID 복합 제어 시스템과 결합된 Monte Carlo 시뮬레이션을 기반으로 한 신뢰성 모델링 및 예측 유지 관리 시스템은 모든 작동 조건에서 0.05도의 초정밀 온도 제어를 달성합니다.{0}}
03 프로젝트 고도화
온도 제어 정확도는 벤치마크 제품의 정확도를 능가하여 높은 동적 부하 시나리오에서 정밀 온도 제어 기술의 격차를 메우고 국제 선진 수준에 도달합니다.
04 시장 적용 전망
반도체, 생물의학, 실험실 정밀 제조 등 첨단 분야에 성공적으로 서비스를 제공해 왔습니다.{0}}
